B雙面研磨拋光機(jī)  

國產(chǎn)品牌：廣州環(huán)宇 13.6B  湖南宇晶9B   蘭州瑞德15B

產(chǎn)品用途

本機(jī)主要用于8英寸以下硅片、光學(xué)玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。

設(shè)備基本參數(shù)

3.1、  研磨盤尺寸：   φ1355mm×φ458mm×50mm

3.2、  游輪參數(shù)：公制：Z＝170  M=3   α=20°

3.3、  最小拋光厚度：0.40mm

3.4、  下盤轉(zhuǎn)速：     0-60rpm

3.5、  主電機(jī)：       11kW  AC380V   1450rpm

3.6、  齒圈電機(jī)：  4kW    AC380V     1440 rpm

3.7、  太陽輪電機(jī)：1.5kW   AC380V     1440rpm

3.8、  抬升電機(jī)：  0.75kW  AC380V     1390rpm

3.9、  三相電泵：  1/4HP   AC380V     70L/min

3.10、外型尺寸：  1950㎜×3000㎜×2800㎜

3.11、重量：      約7000kg

設(shè)備的安裝

   設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦、安裝厚度應(yīng)大于300mm，遠(yuǎn)離振動(dòng)源，無灰塵煙霧污染的場所。

    a 溫度10℃-25℃

    b 相對(duì)濕度≦95%

c 電源電壓AC380V ，50Hz

d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa（必須為干燥的清潔空氣）

整機(jī)精度指標(biāo)

l  下盤平面度小于0.03mm；

l  下盤端面跳動(dòng)小于0.06mm； 

主要特點(diǎn)

2.1變頻器配合異步電機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。

2.2采用三電機(jī)同步拖動(dòng)，變速范圍更廣，能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求；可實(shí)現(xiàn)快速修盤功能，提高生產(chǎn)效率。

2.3太陽輪與內(nèi)齒圈同步抬升，滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。

2.4上下研磨盤采用斜齒輪傳動(dòng)，并且整機(jī)采用全齒輪傳動(dòng)，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

2.5上研磨盤的升降及研磨壓力的控制分別由上氣缸及加壓缸來完成。采用PLC控制，人機(jī)界面顯示整機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，壓力采用電-氣比例閥與壓力傳感器閉環(huán)反饋控制，壓力轉(zhuǎn)換過程實(shí)現(xiàn)了線性控制。用戶可根據(jù)研磨工藝進(jìn)行設(shè)置,壓力控制精度高。

2.6上盤采用最新的“浮動(dòng)”連接裝置，調(diào)心靈活，解決了錯(cuò)盤問題。

2.7應(yīng)用人機(jī)界面（PT）與PLC 通訊，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面通過其觸摸鍵調(diào)整、設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù)，主操作由普通鍵鈕完成。

2.8采用集中潤滑裝置，各相對(duì)運(yùn)動(dòng)表面、齒輪嚙合部位、鏈輪都可得到充分潤滑，大大提高了整機(jī)的使用壽命。

2.9本機(jī)整體為龍門式結(jié)構(gòu)，上研磨盤上升到最高位置后由橫梁上兩小氣缸通過安全鉤自動(dòng)鎖定，鎖定可靠。

注：聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的，謝謝！