智泰白光干涉儀

產(chǎn)品特點：1、非接觸式測量：避免物件受損。2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm---200μm。3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。8、測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。應(yīng)用領(lǐng)域：1、TFT產(chǎn)業(yè)2、半導(dǎo)體3、MEMS4、高�？蒲�5、精密加工機。 詳細(xì)介紹>>