音圈直線電機(jī)

音圈直線電機(jī)體積小，響應(yīng)速度快，與U型直線電機(jī)和平板型直線電機(jī)相比它可以提供更好的高頻響應(yīng)特性，可做高速振蕩往復(fù)運(yùn)動(dòng)，特別適合用于短行程的閉環(huán)伺服控制系統(tǒng)的應(yīng)用。音圈直線電機(jī)的控制簡單可靠，無需換向裝置，免維護(hù)，長壽命，可以長期連續(xù)工作。音圈直線電機(jī)可以進(jìn)行精密的位置、速度、加速度和推力控制，無背隙。位置精度級(jí)別可達(dá)0.1～5μm，輸出力為30N～800N，亦可根據(jù)客戶的要求進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)。主要應(yīng)用的領(lǐng)域：半導(dǎo)。 詳細(xì)介紹>>