光刻網(wǎng)格校正版

技術(shù)參數(shù)：1.光刻版尺寸：550x450mm,540x420mm,2.厚度：4.8mm,3.0mm.3.光刻版基材:Quartz;SodaLime4.最小線寬:1.0um.5.接觸孔:1.5x1.5um6.CD公差:+/-0.1um7.均一性(范圍):0.12um8.套刻精度:0.12um9.缺陷大小:0.8um缺陷密度:0.6DPSI光刻網(wǎng)格校正玻璃版是一種圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，將光刻版上的網(wǎng)格圖形轉(zhuǎn)移到涂有光敏材料，即光刻膠的硅片上，符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的光刻和檢測(cè)系統(tǒng)的光刻版。將光首先通過(guò)光刻版，將硅片上的光刻膠曝光，從而產(chǎn)生可。 詳細(xì)介紹>>