三坐標(biāo)

主要特征:•先進(jìn)的全鋁技術(shù)，橫梁與Z軸采用表面硬質(zhì)陽極化航空鋁合金，溫度一致性極佳；并降低了運(yùn)動部件的質(zhì)量和測量機(jī)在高速運(yùn)行時的慣性，保證高速高精度•三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運(yùn)動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損•三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮•X向采用精密60°三角梁專利技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比最佳，運(yùn)動更加可靠•Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機(jī)器重量的同時，有效消除了運(yùn)動扭擺，保證了測量精度和穩(wěn)定性•Z向采取獲得專利的氣動平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測量機(jī)的精度和長期穩(wěn)定性•各運(yùn)動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強(qiáng)型同步帶，確保運(yùn)動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位•采用�？怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-Ⅰ控制系統(tǒng)，2。 詳細(xì)介紹>>